第226章 粤州硅片厂(第3页)

 这两步都是传统工艺，双方没什么分歧。

 为了快速上马，周博甚至直接照搬毛熊方案，设备也都从毛熊进口。

 而第三车间是提纯车间。

 将低纯硅与氯化氢（hCl）反应生成三氯硅烷（sihCl?），然后通过蒸馏和化学气相沉积（Cvd）将三氯硅烷还原为高纯度多晶硅。

 纯度达到99.9999%（6n）至99.%（9n）

 这个方法被称为西门子法。

 双方分歧就在这一步。

 西门子法虽然被各国广泛采用，但传统西门子法在效率、能耗、生产成本都不太理想。

 因此，周博采用了更先进的改良西门子法。

 能耗显着降低，同时效率提升一倍以上。

 传统西门子法中，硅的沉积率只有约10%-15%。

 如果采用改良西门子法，沉积率提高到30%。

 很快，众人来到提纯车间，聚集在一个4米长的圆柱形金属腔体前。

 这是硅提纯的关键设备，反应炉。

 提纯时，将多根细长的硅棒（硅芯）插入反应炉。

 然后通过沉积（Cvd）反应，在高温下将硅沉积到细长的硅棒上，形成高纯度多晶硅。

 罗曼诺夫道：“周博达瓦里希，这是你们设计的反应炉，怎么能横式布置呢。

 你知不知道，如果气体分配不均匀，硅纯度就无法保持一致。”

 罗曼诺夫的声音有些着急，看得出来，他还是很敬业的，对工作一丝不苟，并没有因为是夏国项目就有所懈怠。

 周博笑了笑，传统西门子法都是立式炉，横式炉是后世设计，效率更高。

 “罗曼诺夫同志，横式炉是新式方案。

 气体流场经过优化，硅纯度绝对可以保证！”

 “你确定？”

 “当然！”周博自信十足。

 “不仅如此，横式炉效率还更高。

 我问你，你们的反应器能沉积几根硅棒？”

 “八根！”

 罗曼诺夫回答道，声音带着几分自信。

 他知道，这个数字在全球算是领先的。

 周博笑了笑，淡淡道。

 “我们的横式反应炉可同时沉积36根硅棒···”

 36根！

 一众毛熊专家都瞪大了眼睛。