第230章 鸡蛋清引发的良品率问题(第2页)

 暗暗在脑海中发出指令。 

 “分析gk-1光刻机···” 

 【叮！】 

 【系统分析开始···】 

 【光刻机型号：gk-1】 

 【分析结果如下：】 

 【1光源系统正常。 

 2对准与调焦系统正常。 

 3双工件台系统正常 

 4掩模输运与定位系统正常···】 

 系统分析完毕，光刻机一切正常。 

 周博叹了一口气，心中也犯了难，问题出在什么地方呢？ 

 系统也不是万能的，现在要靠自己定位问题了。 

 “大家有什么看法！”周博先询问众人的意见。 

 姜明尚道：“每次都出现图案粘连，我还是怀疑光刻胶有问题。 

 但是又查不出来！” 

 周博点点头。 

 现在他们所用的光刻胶，是从鸡蛋清里提取出来的，调配过程是周博经过多次实验确定下来的。 

 一年多来，在电子厂车间产线上使用，从来没出过问题。 

 之所以用鸡蛋清，多少有点无奈，光刻胶这东西虽然不起眼，但技术含量可不低。 

 要从零开始批量制造，也是相当麻烦，所以周博才用了妥协的鸡蛋清方案。 

 想了想，周博一时也难以确定问题所在，只好道：“把流程重新走一遍吧！” 

 “好！” 

 随即，众人取出一块晶圆片放入光刻机中，启动光刻工序。 

 光刻机内，汞灯光源射出紫外光，透过自制透镜组，再透过掩膜版，将电路图案投射到涂有鸡蛋清光刻胶的晶圆上。 

 在硅片表面刻画出比头发丝还要细千百倍的电路图案。 

 周博出神地注视着光刻机，思维跟着工序流程快速思考。 

 是振动问题？ 

 空气洁净度不够？ 

 热胀冷缩？ 

 脑海中不时蹦出一个个想法，但又随即否定··· 

 半个小时后，光刻工序完成，几块芯片新鲜出炉。 

 随即拿到显微镜下一看，还是图案粘连！ 

 姜明尚苦笑：“真是活见鬼了！” 

 此时，周博拿着一块芯片左右端详，眼神渐渐明亮起来。 

 “姜工，我觉得你的猜测是对的，应该还是光刻胶的问题！” 

 周博语气笃定地说道。