第164章 “烛龙”奋起惊“宙宇”，“旧神”落子乱“棋局”(第2页)

在过去的八个月里，这台原型机，在【工部（神匠级）】“未来科技树定向解锁”和“颠覆性核心技术瓶颈突破加速”两大“神技”的轮番“催熟”下（李班加为此又陆续投入了近千万两白银和数点天命点），其核心性能指标，已经取得了数次“量子跃迁”般的突破！

尤其是其光源功率、能量稳定性、以及脉冲频率，均已达到了甚至在某些关键参数上，超越了当前AsL最先进的商用euv光源的水平！

而今天，将是它与那套同样由xx集团自主研发的、集成了“超高数值孔径（high-nA）物镜系统（雏形）”和“超高精度磁悬浮双工件台系统（工程验证版）”的“女娲一号光刻验证平台”，进行首次联调联试，并尝试在特制的硅晶圆上，刻蚀出7纳米及以下线宽测试图形的关键时刻！

“所有系统自检完毕！”

“光源能量已达到预设阈值，稳定性100%！”

“工件台定位精度已达皮米级，真空环境已达极限！”

“掩模版已加载，测试图形数据已导入！”

林逸轩博士的声音，因激动而微微颤抖，但每一个指令，都清晰而果断。

石文固副总裁，则紧紧握着拳头，手心早已被汗水浸湿。他知道，这一刻，不仅关乎“女娲计划”的成败，更关乎他一生的工业梦想，和他身后整个华夏民族在尖端科技领域“挺直腰杆”的百年夙愿！

李班加虽然身在千里之外的集团总部“悟道室”，但通过【紫微内府】的“龙影卫”实时传输回来的加密视频和【工部（神匠级）】的“国之重器运行状态全息监控”功能，他对“烛龙巢”内的一举一动，都了如指掌。

他的心，也提到了嗓子眼。

“启动……刻蚀！”随着林逸轩博士一声令下。

那道凝聚了无数人心血与期望的、纯净到极致的极紫外光束，从【烛龙之眼】中喷薄而出，经过层层光学镜组的精准引导与聚焦，如同一支来自“创世神只”的“神笔”，在那片小小的硅晶圆上，开始勾勒起人类科技文明史上，最精微，也最壮丽的图画！

一分钟……五分钟……十分钟……

当第一片经过刻蚀、显影、清洗等一系列复杂工序处理的测试晶圆，被小心翼翼地送入高精度电子显微镜下时，整个“烛龙巢”控制室内，落针可闻。

所有人的目光，都死死地盯在显微镜连接的大屏幕上。

渐渐地，渐渐地，屏幕上的图像，从模糊到清晰……

那是一条条排列整齐、边缘锐利、线宽精准控制在……5纳米的完美电路图形！

“成功了！！！！！”

不知是谁第一个歇斯底里地喊了出来，紧接着，整个“烛龙巢”，爆发出了一阵比【烛龙之眼】启动时还要震耳欲聋的欢呼与狂啸！无数白发苍苍的科学家和工程师，相拥而泣，状若疯魔！

石文固副总裁这位钢铁般的老人，此刻也再也抑制不住内心的激动，老泪纵横，仰天长啸！

【系统提示：【女娲计划】取得“核弹级”史诗性重大突破！宿主已成功掌握5纳米及以下线宽极紫外光刻核心工艺！【烛龙之眼（euv光源原型机）】受此“开天辟地”之功绩感召，成功完成第一次进化，晋升为【烛龙神光（euv光源·准工业级）】！其核心性能指标全面提升30%，并解锁“光源自适应优化与智能诊断”功能！【工部（神匠级）】经验值再次爆满，对“未来科技树”的掌控力进一步增强！】