第606章 设备(第3页)

 稍微喝了口茶杯中的温水，平复心情后，这才接着对自己团队的学生们说道：“理论与实际，永远是相辅相成的。 

 把咱们研发的duv光刻机适配光源设备拿出来，向大家展示一下吧。” 

 张刚修与黎旭洞两人合作打开了一个颇大的行李箱，展示箱子中被减震部件和真空包装好的光源部件。 

 虽然具体结构被一些部件设计遮掩，但包括邹王振等人在内的所有教授、博士们，都能够清楚的看清楚

，这套光源设备绝对不是他们认知中的其他企业的现成品。 

 “握草？！”原本还颇有资历，表情严肃的教授，在看到这一幕时，都下意识爆出了粗口。 

 除此之外，还有更多四五十岁的“中年人”，腾的站起身子，就想走到讲台，触摸这套设备。 

 “这外壳的光泽，是什么高分子材料？还是有做漆？” 

 “碟片激光器还是光纤激光器？” 

 “这是已经做好了适配吗？是哪个光刻机可以适配的光源设备？” 

 “duv？如果没问题的话，岂不是euv深紫外光刻机也能够等技术进步，开始列装？“ 

 “我记得给阿斯麦公司提供光源激光器的快通公司，用的好像是碟片激光器，看这个光源结构，很明显是固体状态的碟片激光器。” 

 在这些惊讶、疑问的话语交谈声之中，周潭教授听到了认真讨论探索的声音。 

 他对这位来自于西工大的教授，颔首，微笑道：“没错，我们使用的是碟片激光器，虽然碟片激光器和光纤激光器都是优秀光源的技术处理路线，但是在我们的测试中，一旦功率超过了200w，碟片激光器的优势比光纤激光器更明显。 

 它直接解决了传统激光器，在热透镜环节的承载上限问题，并且有更高的光电转换率，既然要成为我们大夏联邦半导体产业的革新光源，自然不能够在这方面有弱点。”